Halbleiterindustrie

Reinheit ist unser oberstes Gebot…

Die deutsche Halbleiterindustrie ist einer der momentan am dynamischsten wachsenden Märkte. Dabei werden gerade an die Druckmessung höchste Anforderungen an die Reinheit und Dichtigkeit, zum Beispiel durch den Einsatz von VCR-Anschlüssen gestellt.

Unser Flow-Through Manometer erfüllt in höchstem Maß die Anforderungen der Halbleiterindustrie. Ein herkömmliches Rohrfedermanometer hat aufgrund seiner Geometrie, z.B. der am Ende verschlossenen Rohrfeder, beim Reinigen der messstoffberührten Teile deutliche Nachteile. Unser Flow-Through Manometer ist mit zwei gegenüberliegenden VCR-Anschlüssen, die eine erhöhte Oberflächengüte aufweisen, und einem elektropolierten, totraumfreien Messstoffraum ausgestattet. Das Durchspülverhalten wird dadurch wesentlich verbessert und die Spülzeiten erheblich reduziert. Diese innovative Gerätegestaltung dient der effektiven Nutzung von Ressourcen.

Applikationsbeispiele Halbleiterindustrie

  • Hersteller technischer Gase
  • Gasverteilungssysteme
 

Geräteempfehlungen

Betriebs-Manometer mit Rohrfeder (RChE 50-3) Bajonettringgehäuse CrNi-Stahl Nenngröße 50 mit Induktivkontakt zur Überwachung des Füllstandes von Gasflaschen, Reinstgas-Manometer mit ECD-Qualität
Betriebs-Manometer mit Rohrfeder
(RChE 50-3)


Bajonettringgehäuse CrNi-Stahl
Nenngröße 50 mit Induktivkontakt
zur Überwachung des Füllstandes von Gasflaschen
Reinstgas-Manometer mit ECD-Qualität

Zulassungen